kok电子竞技权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
kok电子竞技:文档简介
新型硅控整流器(SCR)的数字和
高压的ESD电源钳位汇报人:马艺珂刘明雪
王鑫背景知识随着集成电路特征尺寸不断减。驳绶诺纾‥lectrostaticDischarge,ESD)的影响已经成为制约集成电路产品可靠性的重要原因。据统计,集成电路产品电学失效机制中,大约有40%与ESD冲击有关。为了提高集成电路抗ESD冲击能力,就必须对内部电路进行ESD保护电路设计。有效的ESD钳位保护电路可以大大提升整个芯片的抗ESD的能力,必须具备以下特点:触发电压适当。一方面要较。阌诩笆贝シⅲ涣硪环矫嬉笥赩DD与VSS的电压差,避免VDD和VSS导通。导通电阻。苋菽蒃SD泄放时的大电流。泄漏电流小。电路正常工作时,钳位电路应处于关闭状态,泄漏电流必须足够。裨蚧嵊跋炷诓康缏沸阅芎驮龃蟮缏返木蔡。能够防止闩锁效应。由于钳位电路处于电源/地之间,屏蔽闩锁尤为重要,否则会使整个电路失效。闩锁效应闩锁效应是CMOS工艺所特有的寄生效应,严重会导致电路的失效,甚至烧毁芯片。闩锁效应是由NMOS的有源区、P衬底、N阱、PMOS的有源区构成的n-p-n-p结构产生的,当其中一个三极管正偏时,就会构成正反馈形成闩锁。静电是一种看不见的破坏力,会对电子元器件产生影响。ESD和相关的电压瞬变都会引起闩锁效应(latch-up)是半导体器件失效的主要原因之一。ESD防护窗口ESD防护窗口与特征尺寸关系常用的ESD钳位保护电路及特点分析栅耦合MOS管(GCMOS)、级联二极管串(CDS)、可控硅管(SCR)等。
GCMOS是最常用的钳位保护电路,但其单位面积抗ESD的能力差,获得高ESD保护能力时需kok电子竞技图面积过大。
CDS管结构简单,钳位能力强,但CMOS工艺下会出现Darlington效应,影响泄放能力。
SCR管单位面积抗ESD能力强,泄漏电流。涮赜械腟napback特性容易造成闩锁效应。新型ESD钳位保护电路由于闩锁的问题,尤其是在高电压应用,可控硅的(SCR)ESD保护主要问题是加在电源芯片上其固有的低的保持电压。在这里,我们提出一个内嵌在NMOS中的SCR(MISCR),表现出几乎没有回滞效应和良好的防静电鲁棒性,这是合格的片上功率钳位ESD保护。通过改变层叠数,堆叠的器件获得了一系列的触发和保持电压,也可用于高电压的ESD电源钳位应用。新型ESD钳位保护电路
图2LVTSCR剖面图
图3MISCR剖面图新型ESD钳位保护电路图3LVTSCR和MISCR等效电路图
TLP测试结果图4LVTSCR和MISCR的TLP测试图
TLP测试结果图5不同N阱长度下的TLP测试图模拟电流密度分布图6MISCR和LVTSCR的电流密度分布堆叠电路图7MISCR结构的堆叠电路图SOI工艺下MISCR器件结构图8SOIBCD工艺下的MISCR器件结构图9(a)不同的N阱长度和堆叠个数下MISCR的TLP测试结果。图9(b)不同的N阱长度和堆叠个数下MISCR的TLP测试结果。结论在CMOS工艺和SOIBCD工艺下,MISCR结构实现了几乎没有回滞现象和良好的ESD鲁棒性。阳极电极直接连接到中央的N+注入,这个N+注入是跨在N阱和P阱的PN结上的,因此具有低的触发电压。通过改变N阱的长度,可以调整保持电压,并保持其回滞电压在小范围内变化来实现无闩锁效应的ESD应用。在SOIBCD工艺下,可以通过调整堆叠方式,如选择合适的堆积单元数量和/或堆积单元的尺寸,以满足不同的高压电源的要求。
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
kok电子竞技:最新文档
- 五金材料采购实践分享
- 2022年四川省广元市公开招聘警务辅助人员辅警笔试自考题1卷含答案
- 2022年安徽省合肥市公开招聘警务辅助人员辅警笔试自考题2卷含答案
- 2022年四川省广安市公开招聘警务辅助人员辅警笔试自考题1卷含答案
- 2021年贵州省铜仁市公开招聘警务辅助人员辅警笔试自考题1卷含答案
- 2025年工具钢项目提案kok电子竞技模范
- 广西北海市(2024年-2025年小学六kok电子竞技语文)统编kok电子竞技随堂测试((上下)学期)试卷及答案
- 2025年出入口机项目立项申请kok电子竞技模范
- 实习生的辞职kok电子竞技
- 2024年服务器项目资金需求kok电子竞技代可行性研究kok电子竞技
- 档案工作人员分工及岗位责任制(4篇)
- 电商整年销售规划
- GB 4396-2024二氧化碳灭火剂
- 美丽的秋天景色作文500字小学
- 施工单位2025年度安全生产工作总结及计划
- 口腔癌放疗护理
- 护理质量委员会会议
- 2024年护理质量分析
- 2024-2025学年高中物理举一反三专题2.1 简谐运动【八大题型】(含答案)
- EPC模式承包人建议书及承包人实施方案
- 2025人教kok电子竞技九kok电子竞技英语全册知识点清单
评论
0/150
提交评论